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半导体晶圆厂自动化设备公司米飞科技获超亿元A轮融资,启明创投领投

发表时间: 2022-02-16

本文由“启明创投”投稿,36氪经授权发布。

米飞科技2014年成立于上海,是一家技术驱动的半导体晶圆厂自动化设备公司,专注于半导体晶圆厂自动化物料搬运系统(AMHS)的生产、研发和销售。

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米飞科技上海临港总部大楼

米飞科技的核心团队均来自国内外一线集成电路晶圆厂和半导体设备公司,在半导体晶圆厂运营及相应的自动化生产系统方面拥有丰富的第一手经验。

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在半导体晶圆厂中,AMHS 是工厂利用率和质量一致性的重要保证之一。以目前在中国大陆量产的28nm工艺节点为例,平均光刻层数接近50层,工艺步骤超过1000个,生产周期约90天。28nm工艺节点的月产能为4万片,日产晶圆盒。传输量超过10万次,此时的AMHS系统具有“两高”——高效率、高可靠性;“两低”——低尘、低振动的特点。因此,无论是满足效率要求,还是降低人员对洁净室和晶圆质量的影响,

米飞科技不仅产品线丰富全面,掌握核心技术,供应链安全可控。在产品和服务方面,米飞科技贴近客户的核心关切,为半导体各领域的领先企业提供多元化、自动化的解决方案。

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AMHS( )

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2016年以来,公司先后为国内外多家8英寸和12英寸晶圆厂提供AMHS产品江森自控楼宇设备科技(无锡)有限公司,包括40/28nm及以下先进工艺节点的调度软件、传输存储设备、净化设备等。覆盖国内外知名晶圆代工厂。

我们希望通过人才、资金和产业资源的融合,成为真正具有国际竞争力的半导体设备公司。"

启明创投合伙人叶冠泰表示:“近年来,中国晶圆厂扩产速度全球领先,对半导体设备的投资不断加大。米飞科技团队拥有丰富的半导体行业经验,在自动化材料和设备领域布局先进,由于交货时间和成本效益优势,我们有机会抓住国内晶圆厂客户购买国产设备意愿增加的历史机遇,助力产业升级。同时,我们也期待米飞科技进一步拓展海外市场,成为半导体智能工厂领域的全球领导者。”

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